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1、指標評估的對象不同：

靈敏度評估的對象是傳感器的輸出和輸入之間的關系。分辨率是指傳感器可感受到的被測量的最小變化的能力。精度用來評估傳感器測量系統測量精度。

2、表示方法不同：

靈敏度表示為：輸出量的增量與引起該增量的相應輸入量增量之比。用S表示靈敏度。它是輸出一輸入特性曲線的斜率。靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。分辨率常用滿量程中能使輸出量產生階躍變化的輸入量中的最大變化值作為衡量分辨率的指標。精度常用精確度來表示。

3、精度是表示測量值離散的程度；靈敏度指示器的相對于被測量變化的位移率；分辨力是顯示裝置能有效辨別的最小的示值差。

精度：是表示測量值離散的程度。在對一個量進行無窮多次測量時，測量結果會呈現下圖所示的正態分布。測量儀表（包括傳感器）的精度就是指測量結果 99.73% 的可能（這里跳過關于統計學知識的討論）偏離真值的范圍。對于測量儀器來說，精度是一個定性的概念，一般不用數值表達。

和精度相類似的儀器指標還有準確度：指在一定實驗條件下多次測定的平均值與真值相符合的程度，以誤差來表示。例如：

儀器允許產生的誤差為量程的0.5%。即準確度0.5%或0.5級；

儀器允許產生的誤差為正負某個數值。

精度和準確度有相似性，但兩者的定義是不同的。精度是表示測量值離散的程度。準確度表示觀測值與真值的接近程度。平常所說的“精度"實際上很多時候是指準確度。

靈敏度：指示指（輸出）的相對于被測量變化的位移率。在數值上指測量儀器響應的變化除以對應的激勵變化。由于靈敏度可能與激勵值有關。所以不同儀器對于靈敏度的數值或表達方式的會有所不同。對于傳感器來說，常見的是以傳感器的闕值（能使傳感器輸出端產生可測變化量的被測量的最小變化量）來表示。